SVAC-FilmLab-B 箱式鍍膜設備

極限真空：小于5×10-5Pa。

保壓數(shù)據(jù)V2

真空度數(shù)據(jù)：

性能模塊：

1、磁控濺射模塊：

2、電子束：

電子束蒸發(fā)均勻性

注：在4寸/6寸范圍內(nèi)取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)

蒸發(fā)曲線

3、加熱樣品臺：

4、熱蒸發(fā)

熱蒸發(fā)模塊性能測試曲線

注1：Al采用AlN坩堝外纏繞鎢絲蒸發(fā)。

注2：Ni、Ti采用鉬棒纏繞Ni、Ti絲蒸發(fā)

注：在4寸/6寸范圍內(nèi)取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)

5、有機物蒸發(fā)：

有機物束源爐性能測試曲線

測試條件：Red Prime材料，密度1.0g/cm3