| 主要規(guī)格參數(shù) |
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| 型號(hào) | 研發(fā)型 | 中試型 | 量產(chǎn)型 |
| SVAC-Sub30 | SVAC-Sub60 | SVAC-Sub100 | SVAC-Sub200 | SVAC-Sub300 |
| 管徑(直徑) | 30mm | 60mm | 100mm | 200mm | 300mm |
| 最大裝載量 | 20g | 50g | 250g | 3Kg | 8Kg |
| 加熱溫區(qū) | 6-8區(qū)(可定制) |
| 控溫系統(tǒng) | 上下獨(dú)立控溫,盡快溫控器,升華和收集區(qū)額外增加多個(gè)測(cè)溫?zé)犭娕紲y(cè)試溫度均勻性 |
| 最高溫度 | 600℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱元件 | KTL (康泰爾)鐵絡(luò)鋁電阻絲 |
| 真空系統(tǒng) | 進(jìn)口磁懸浮分子泵、機(jī)械泵、進(jìn)口真空計(jì) |
| 極限真空度 | 優(yōu)于5x10-7Torr空載) |
| 電氣控制 | PLC(自動(dòng)/半自動(dòng)/手動(dòng)操作) |
| 過(guò)濾系統(tǒng) | 專(zhuān)利冷阱過(guò)濾系統(tǒng)(無(wú)液氨、冷媒等介質(zhì)),溫度-120℃ |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 報(bào)警系統(tǒng) | 水、電、氣真空等出現(xiàn)異常時(shí)報(bào)警提示 |