System SourceMeter?10 μs 脈沖發(fā)生器/源測量單元 (SMU) 儀器將高電流/高速脈沖發(fā)生器的功能與傳統(tǒng) SMU 的測量及全部功能集于一臺儀器中。其優(yōu)異的 10 A @ 10 V 快達(dá)10 μs 脈沖寬度和全 1 MS/s 數(shù)字化功能極大地提升了從臺式檢定到高度自動化脈沖式 I-V 生產(chǎn)測試等應(yīng)用的效率。
概述
無需手動脈沖調(diào)整即可實(shí)現(xiàn)高脈沖保真度
通過 2601B-PULSE 控制回路系統(tǒng),高達(dá) 3μH 的負(fù)載變化無需手動調(diào)整,從而確保在任何電流水平(最高 10 安培)下輸出 10 μs 至 500 μs 脈沖時,脈沖均不會出現(xiàn)過沖和振蕩。脈沖上升時間 < 1.7 μs,確保您可以正確檢定被測器件或電路。

將快速脈沖發(fā)生器功能與 SMU 功能集成至一臺儀器中
2601B-PULSE 在業(yè)界領(lǐng)先的吉時利 2601B SMU 儀器所提供的測量完整性、同步性、速度和準(zhǔn)確性基礎(chǔ)上新增脈沖發(fā)生器功能。
通過 1 MS/s 的數(shù)字化功能,實(shí)現(xiàn)脈沖發(fā)生器 0.05% 的基本測量精度
SMU 100 nA 低電流范圍與 100 fA 靈敏度
后面板 BNC 連接實(shí)現(xiàn)電纜快速設(shè)置

嵌入式腳本和連接提供很大的生產(chǎn)吞吐量
測試腳本處理器 (TSP?) 技術(shù)可在 SMU 儀器內(nèi)嵌入和執(zhí)行完整測試程序,提供業(yè)界最佳性能。TSP-Link? 技術(shù)支持?jǐn)U展多達(dá) 32 個 TSP 鏈路節(jié)點(diǎn),以創(chuàng)建高速、SMU-Per-Pin 并行測試(而不使用主機(jī))。

應(yīng)用
ToF/LIDAR 應(yīng)用的激光二極管 (VCSEL) 生產(chǎn)測試
2601B-PULSE 是激光二極管垂直腔表面發(fā)射激光器 (VCSEL) LIV 生產(chǎn)測試的理想解決方案,采用高速高精度 10μs 脈沖發(fā)生器和 SMU,可用于 VCSEL、VCSEL 陣列和激光二極管模塊的電流脈沖源和電壓-電流監(jiān)測。SMU 提供經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的 LIV 儀器,系統(tǒng)同步和吞吐量高。
可編程脈沖電流源可達(dá) 10 A 電流和 10 μs 脈沖寬度
電壓和電流測量分辨率為 100 nV 和 100 fA
內(nèi)置 TSP? 處理功能可減少 PC和儀器總線通信
如何使用 2601B-PULSE System SourceMeter SMU 儀器生成 10 μs 脈沖
當(dāng)輸出低至 10 μs 的脈沖時,新型電流脈沖發(fā)生器/SMU 無需耗時的手動計時

故障分析和質(zhì)量保證
半導(dǎo)體公司和半導(dǎo)體研究人員不斷尋找方法,使測試設(shè)備不會成為其在半導(dǎo)體領(lǐng)域有所突破的阻礙。半導(dǎo)體故障分析 (FA) 工程師耗時無數(shù),試圖了解設(shè)備故障的原因及在將來如何預(yù)防。
使用源測量單元和鎖定熱成像技術(shù)進(jìn)行故障分析的先進(jìn)技術(shù)

簡化的 LED 脈沖式/直流 I/V 檢定
2601B-PULSE 獨(dú)特的電流脈沖、直流電壓和電流功能可實(shí)現(xiàn)高速 LED 直流和脈沖 IV 檢定及生產(chǎn)測試,具有 0.015% 的基本測量精度。對 microLED、LED 或高亮度 LED (HBLED) 執(zhí)行脈沖測試可最大程度地減少自發(fā)熱,并減少對測量精度的負(fù)面影響,此外,無需擔(dān)心損壞被測器件。
可編程電流源可達(dá) 10 A 電流和 10 μs 脈沖寬度
電壓和電流測量分辨率為 100 nV 和 100 fA
1 M 樣點(diǎn)/秒數(shù)字化器,用于快速采集和測量數(shù)據(jù)
內(nèi)置 TSP 處理功能可減少 PC 儀器總線通信

晶圓半導(dǎo)體測試
Keithley 2601B-PULSE 和其他系列 2600B System SourceMeter? SMU 儀器將堆架式儀器的可擴(kuò)展性和靈活性與基于主機(jī)系統(tǒng)的集成和高吞吐量相結(jié)合,使用 TSP 和 TSP 鏈路技術(shù)減少制造活動和測試成本。這些儀器通常用于激光二極管、LED、晶體管等晶圓半導(dǎo)體測試。

